杨卓青 上海交通大学长聘教授、博士生导师、课题组组长
研究工作主要包括金属基MEMS器件、三维封装（TSV/TGV）、柔性电子、PowerMEMS以及超细柔性纤维/圆管/毛细管等表面的3D MEMS集成制造技术等。先后主持国家自然科学青年基金、面上项目，国家重点研发计划课题，国家“863”项目子课题，教育部装备预研联合基金等项目。2011-2013年期间，受日本学术振兴会（JSPS）资助赴日本国立产业技术综合研究所（AIST）从事博士后（JSPS Postdoctoral Fellow）工作，成功开发了可用于超细基底的3D曲面光刻技术，并实现了在微细（~百微米直径）石英圆管/毛细管/柔性纤维表面制作高精度、高分辨率的多层多功能MEMS微纳器件。近年来，在国际著名期刊和会议IEEE-JMEMS, Nature Electronics、Nature Communication、Adv Mater, Nano Energy,
Adv Energy Mater, JMM，Lab Chip, IEEE TED, Sensors and
Actuators, IEEE MEMS, IEEE NEMS, TRANSDUCERS, IEEE SENSORS发表学术论文120多篇，受邀由Springer出版英文学术专著1部，获得授权中国发明专利20余项，日本发明专利1项。多次担任IEEE INEC、IEEE
NANO、IEEE NEMS、APCOT等多个国际会议分会场主席及TPC成员，担任Micromachines、Micro and Nanosystems、《半导体光电》 以及《功能材料与器件学报》等期刊编委。目前为IEEE高级会员（IEEE Senior Member）、中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会常务委员、中国微米纳米技术学会微纳机器人分会理事，中国微米纳米技术学会微米纳米加工技术分会理事，上海市传感技术学会理事，2014年入选上海市“浦江人才计划”（A类），2016年获上海市“技术发明一等奖”，2019年获工信部“科技进步三等奖”，2023年获安徽省“科学技术三等奖”、上海交通大学“教书育人三等奖”。
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代表性论文：
[1] Penglei Zhang, Yahui Li, Chao Ren, Haodong Zhang, Xian Shi, Yu Liu, Mengqiu Li, Yongcun Hao, Honglong Chang, Zhuoqing Yang*, “A MEMS Inertial Switch With Large Scale Bi-Directional Adjustable Threshold Function”, IEEE Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 31, no. 1, pp. 124-133, February, 2022.
[2] Qi Zhang, Yahui Li, Han Cai, Mingfang Yao, Haodong Zhang, Linqi Guo, Zhenjie Lv, Mengqiu Li, Xichi Lu, Chao Ren, Penglei Zhang, Yanxin Zhang, Xian Shi, Guifu Ding, Jinyuan Yao, Zhuoqing Yang*, Zhong Lin Wang. “A Single-Droplet Electricity Generator Achieves an Ultrahigh Output over 100 V without Pre-Charging”, Advanced Materials, vol. 33, no.51, 2021.
[3] Yahui Li, Guizhong Li, Penglei Zhang, Haodong Zhang, Chao Ren, Xian Shi, Han Cai, Yanxin Zhang, Yusen Wang, Zhanfeng Guo, Hongfang Li, Guifu Ding, Haogang Cai, Zhuoqing Yang*, Chi Zhang, Zhong Lin Wang, “Contribution of Ferromagnetic Medium to the Output of Triboelectric Nanogenerators Derived from Maxwell’s Equations”, Advanced Energy Materials, vol. 11, no.21, 2021.
[4] Chao Ren, Kai Wang, Penglei Zhang, Yahui Li, Zhe Zhao, Xian Shi, Haodong Zhang, Kai Tao, Zhuoqing Yang*. “A Self-Powered MEMS Inertial Switch for Potential Zero Power-Consumption Wake-Up Application”, IEEE Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 30, no. 4, pp.550-559, August, 2021.
[5] Haodong Zhang, Penglei Zhang, Yahui Li, Rui Zheng, Guifu Ding, Qijun Xiao, Kaiming Su, Shankai Yin, Zhuoqing Yang*. “A Wearable Ultrathin Flexible Sensor Inserted Into Nasal Cavity for Precise Sleep Respiratory Monitoring”, IEEE Transactions on Electron Devices, vol. 68, no. 8, pp.4090-4097, August, 2021.
