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研究方向

MEMS传感与驱动器件

发布时间：2022-05-17 浏览量：2684
研究目标：
基于多元兼容集成制造技术材料和结构形式多样性优势，开发各种高性能MEMS传感器与执行器件
应用领域：
物联网（IoT）、智能医疗系统等
联系导师：

杨卓青，yzhuoqing@sjtu.edu.cn   

张丛春，zhcc@sjtu.edu.cn

王   艳，wyyw@sjtu.edu.cn       

MEMS惯性开关

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薄膜氢传感器

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    悬空热平台上的氢传感器

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    绝热微平台上的氢传感器

纤维表面传感器3D集成

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