MEMS多元兼容集成制造技术（原非硅微纳集成制造技术及应用）团队，由8位专职教师和4位兼职校外专家组成，拥有微电子、化学、自动化、材料、机械等不同学科背景。团队依托“微米/纳米加工技术国家级重点实验室”和“非 硅微纳集成制造上海市专业技术服务平台”，开展以非硅三维微加工为特色的多元兼容集成制造技术研究，并探索其在 高性能微纳器件研发领域的创新应用。二十多年来，开发建立了一系列特色微纳加工工艺，并面向智能传感、物联网（IoT）、智慧医疗、重大装备应用等需求，研制了多种不同系列高性能微纳器件：包括微流体器件、微惯性器件、薄膜高温传感器、气敏传感器、植入式软针电极、Optical-MEMS器件、生物传感器、微纳光学器件及金属基微机械零部件等，部分研究成果已获得转化应用。

      团队先后主持完成国家级和省部级科研课题数十项，获得发明专利授权100多项，在Advanced Materials、J. MEMS、J. Micromech. Microeng.、Sensors and Actuators和IEEE MEMS等本专业主流期刊和会议上发表学术论文数百篇。先后获得国家技术发明二等奖1次，省部级技术发明一等奖3次，上海市工博会特等奖1次，高交会一等奖1次。